ASM太平洋助力Micro LED技术发展

在次世代显示技术Micro LED的发展过程中，跨界整合始终是关键。遍布在全球的、芯片商、面板厂、制程技术提供者、系统供应商等，无不多方建立合作关系，发挥彼此的技术强项，加速推进Micro LED技术进程。而从上游芯片制造起始，将各阶段制程及技术串连起来的，则非设备厂莫属。

如果说芯片、面板商是将Micro LED技术推上商业化舞台的演员，设备厂就是后场默默整合资源，支撑光鲜前台的幕后工作人员，名声不一定特别响亮，功能却是至关重要。在今年LEDinside的年度盛事Micro LEDforum上，也有数家设备厂商受邀分享他们的关键技术，提供转移、接合、检测及修复等不同解决方案。

Micro LEDforum 2019 现场盛况

LEDinside有幸采访到专精于半导体后工序设备的ASM太平洋(ASM Pacific Technology)，由销售总监顾志豪先生进一步说明，其相关制程设备如何支援转移及固晶技术，加速Micro LED商业化发展。

ASM 太平洋销售总监顾志豪先生详细介绍针对Mini/Micro LED 的技术及解决方案

ASM太平洋强调速度与良率，提供Micro LED及Mini LED显示技术所需方案

“Micro LED生产技术最大的挑战，还是在于芯片数量。”谈到Micro LED的技术进程，顾志豪点出关键。他指出，过去传统LED用在显示屏幕上可能只需要50-500单位量的芯片，但现在的Micro LED显示屏则需要两千四百万的芯片量。因此，提升速度的转移技术绝对是不可或缺的。

为达成后续制程良率的需求，确保芯片转移时的精准度也相当重要。作为设备厂商，ASM太平洋能够因应客户的需求，提供同时满足速度跟精准度的转移设备，协助他们优化制程效率并降低生产成本，加速量产时程。

而ASM太平洋所具备的齐全产品线，能一一击破Micro LED、Mini LED背光以及Mini LED RGB模组等不同技术的制程难题。

针对已开始进入市场的Mini LED背光技术，顾志豪表示这是最容易切入的技术，传统拾放的固晶技术也能达成，但ASM太平洋的强项在于能提供高速方案，其AD 420自动化系统便已被使用于目前Mini LED背光产品的制程中。

Mini LED RGB显示模组的制程上，除了保持速度，还需提升芯片排列的平整度，以维持显示色彩的一致性。在回焊过程中，芯片的位置、角度、平整度都难以控制，这是传统工艺不易解决的难点。ASM太平洋深明Mini LED RGB以及Micro LED显示模组产品的要求，开发出巨量焊接工艺AD300Pro，其独家技术让LED芯片不用经过回焊(reflow)，可确保芯片的XY位置及水平角度一致，使得全彩RGB显示萤幕的平整度更易掌控。

至于Micro LED技术方案，ASM太平洋目前已达成一次转移10000片Micro LED芯片，接合的效率更高达每次80000片。此外，ASM太平洋的专利焊头，能够在高温下焊接表现依然保持高一致性，在摄氏350度的温度下达到2μm以内的精准度，室温作业下更可达到1μm以内，机台的专利气舱内进行接合，提供氮气加强芯片保护。

ASM 太平洋Mini/ Micro LED 完整解决方案

与全球大厂低调合作，从磊晶到面板全自动化设备加速Micro LED量产

ASM太平洋除了针对Mini LED背光、Mini LED RGB以及Micro LED都有相应的机台外，更能够提供全自动产线方案，从送入磊晶片等材料，到后端面板制程的机台间可以自动转换，不须透过人手操控。应用产品也从初期的测试样品，逐渐进入量化商品阶段。

用于Micro LED的机台聚焦于巨量转移跟接合两种技术方案，分阶段将磊晶片依据客户给的范围抓取，放到暂存基板上，再转移到目标模板上进行接合。目前巨量接合的良率更已达成99.99-100%。

“今年在各大显示屏的展会上，不少客户已经展出用以我们的设备做出的Micro LED产品！”顾志豪说，虽然已经跟不少公司合作超过一年半，成品效果也很好，但由于合作客户多为国际大厂，保密条款非常严格，于是ASM太平洋多是低调提供其独家技术。

顾志豪透露，现阶段合作的厂商包括日本、韩国、中国大陆及***地区等多家面板大厂，产品应用范围也涵盖大尺寸显示器、手机屏幕、车用显示、透明显示屏等等。目前AD300Pro的装机率仍持续成长，许多客户都已经准备将此机台用于产品量产，并采用ASM太平洋提供的全自动化方案。

作为设备供应商，ASM太平洋看好Micro LED应用于车用透明显示器的市场，预估2020年底有机会见到搭载Micro LED透明显示屏幕的汽车出现在市场上。而Micro LED在穿戴装置上的应用，如AR/VR或手表等终端产品则估计在2021年过后进入市场。