Flexfilm

文章

• 椭偏仪在半导体的应用|不同厚度c-AlN外延薄膜的结构和光学性质

  245浏览量 2025-12-26 18:02

  

• 晶圆多层膜的阶高标准：实现20–500nm无金属、亚纳米级台阶精度

  56浏览量 2025-12-24 18:04

  

• 光学膜厚测量技术对比：光谱反射法vs椭偏法

  1013浏览量 2025-12-22 18:04