中图仪器SuperViewW1微米级白光干涉仪是一种用于精密检测的仪器，采用了高精度扫描模块和内部抗振设计，可实现至高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质；直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的同步分析功能，更有一键分析功能，批量测量不用愁。
SuperViewW1微米级白光干涉仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪，还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测，在民用领域也有着广泛应用。
产品参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
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