采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测、机床误差修正是目前公认的高效、高精度的检测方法。如何利用激光干涉仪进行机床定位精度检测和补偿进行机床修正？
中图仪器研发生产出的超精密SJ6000激光干涉仪，具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
产品参数
技术指标
位置精度测量分为反向间隙测量、重复定位精度测量和定位精度测量，又称之为线性测量。SJ6000激光干涉仪标配的线性镜组，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿，一次测量即可得出上述三种误差。
依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台
SJ6000激光干涉仪全套系统
线性测量中目标位置的数据采集有【基于位置的目标采集】和【基于时间的目标采集】两种方式，普遍使用基于位置的目标采集方式：被测运动轴需设置若干个等距的定位点，当测长机的测头移动到设置的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000激光干涉仪进行当前点的数据采集。测量结果将会自动生成分析曲线，即可得到导轨的运行轨迹。
机床误差修正激光干涉仪维护
数控机床精度校准
测量机床回转轴精度
测量机床偏摆角度
测量机床直线度
测量机床定位精度
中图仪器是一家高新技术企业，经过十多年在几何量测量领域的潜心研究，现有员工200余人，集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力！