中图白光干涉仪3D轮廓仪属于3D测量领域检测的高精度检测仪器之一，其在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，可根据客户精度要求，将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法，并可依据表面粗糙程度，选择不同步距进行速度调节。
中图白光干涉仪3D轮廓仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。
在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；
在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；
在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；
在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；
在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度；
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由于镜头视野较小，要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多，中图仪器白光干涉仪这时候会用自动多区域测量功能，在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。
测量方法很简单。
1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；5.设置好扫描方式和扫描范围；6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；9.根据被测物形状和尺寸，"形状”栏选择“椭圆平面”，X和Y方向按需设置；10.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。