白光干涉仪测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪基于白光干涉原理，以非接触方式，亚纳米分辨率，测量分析样品表面形貌。它是以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。
产品参数
产品功能
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
应用案例：新能源行业
引导新能源汽车电池涂胶检测系统：
采用点成线、线成面的原理，利用白光干涉仪，以根本解决由于工件加工问题为目的，对工件进行多点平面拟合，配合工业机器人的点运动算法，对点轨迹进行修正。3D光学轮廓仪成像原理根据被检测工件的三维信息建立起三维模型，利用该模型提取的信息进行图像处理，将获取到的三维信息发送给机器人执行动作。
在测量过程中，SuperViewW1白光干涉仪在垂直光轴方向，*快1秒内，做一次纵向扫描；在扫描过程中，摄像头和计算机系统对干涉条纹变化进行采样和分析，从而以埃级纵向分辨率，构建出视场范围内，包括几百万像素的数据3D形貌地图。基于干涉原理的白光光学轮廓仪，纵向分辨率与放大倍率无关，在低倍率大视场范围内，也可以实现埃级分辨率。光学轮廓仪以非接触3D方式检测和表征样品表面，不会有损伤样品表面的风险，其3D检测模式效率也很高。