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中图仪器

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SJ6000激光干涉仪是高精度、高灵敏度的测量仪器,集光、机、电、计算机等技术于一体,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,还可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、加速度、速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

 

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激光干涉仪检测参数

产品型号:SJ6000

产品名称:SJ6000激光干涉仪

稳频方式:双频激光热稳频

稳频精度:0.05ppm

线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃

线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)

角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力:1nm

动态采集频率:50KHz

预热时间:≤6分钟

工作温度范围:(0-40)℃

环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%

主要特点:应用范围广、测量精度高、操作方便

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

SJ6000激光干涉仪产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现最高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。