新型晶圆轮廓检测仪器

型号: EGPRO-512

--- 产品参数 ---

测定尺寸 5寸，6寸，8寸，12寸wafer的Edge，Notch测量
机能校正功能，图像结果，测量数据可以保存
wafer的厚度测量 500~1400um
尺寸精度 +-1um
角度校正精度 0.1°

芯茂（嘉兴）半导体科技有限公司

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轮廓仪 EGPRO-512

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