中图仪器CP系列高精度薄膜厚度台阶仪采用线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。同时集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
产品功能
1.参数测量功能
1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。
3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。
2.测量模式与分析功能
1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。
2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距
离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。
3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域
宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。
4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.双导航光学影像功能
在CP200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。
4.快速换针功能
采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。
磁吸针实物外观图（330μm量程）
CP系列高精度薄膜厚度台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
典型应用
CP系列高精度薄膜厚度台阶仪利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；
部分技术指标
| 型号 | CP200 |
| 样品观察 | 500万像素彩色摄像机 正视视野：2.2×1.7mm |
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 |
| 平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
| 单次扫描长度 | 55mm |
| 样品厚度 | 50mm |
| 载物台晶圆尺寸 | 200mm（8吋） |
| 台阶高度重复性 | 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 630×610×500 |
| 重量 | 40kg |
| 仪器电源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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