中图仪器VT6000材料检测共聚焦显微镜3D成像基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。
产品功能
1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；
3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；
4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；
7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；
8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；
9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。
不同应用场景下的3D形貌
VT6000材料检测共聚焦显微镜3D成像主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。
3D形貌图片：
影像测量功能界面
VT6000材料检测共聚焦显微镜3D成像可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
功能特点
1、测量模式多样
单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；
2、双重防撞保护功能
Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；
3、分析功能丰富
3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；
2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。
部分技术指标
型号 | VT6100 | |
行程范围 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 仪器重量 | 50kg | |
| 测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
| 显微物镜 | 10×;20×;50×;100× | |
| 视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
| 高度测量 | ||
| 宽度测量 | ||
| XY位移平台 | 负载 | 10kg |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z0轴扫描范围 | 10mm | |
| 物镜塔台 | 5孔电动 | |
| 光源 | 白光LED | |
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