一、产品概述
卧式石英管舟清洗机是一款专为半导体、光伏、光学玻璃等行业设计的高效清洗设备，主要用于去除石英管舟、载具、硅片承载器等石英制品表面的污垢、残留颗粒、有机物及氧化层。该设备采用卧式结构设计，结合化学腐蚀、超声波清洗、兆声波清洗及热风干燥等技术，确保石英器件的高精度清洁度与表面完整性。
二、核心功能与特点
卧式结构设计
- 水平布局，便于石英管舟的装卸与传输，减少人工操作强度。
- 兼容多种尺寸的石英舟（如2寸、4寸、6寸、8寸等），适应不同工艺需求。
多槽分段清洗
- 预清洗槽：去除表面大颗粒与松散污染物（可选配兆声波增强）。
- 主清洗槽：采用高纯度化学试剂（如HF、HCL、H₂O₂等）进行腐蚀清洗，精确控制石英表面微观形貌。
- 漂洗槽：多级去离子水（DI Water）冲洗，彻底清除化学残留。
- 干燥槽：热风循环干燥或真空干燥，避免水痕与二次污染。
高效清洗技术
- 超声波清洗：频率20-40kHz，空化效应剥离顽固污染物。
- 兆声波清洗（可选）：高频（>1MHz）声波产生微米级气泡爆破，清除亚微米颗粒。
- 化学腐蚀控制：自动配比化学液，恒温加热（20-80℃可调），确保均匀腐蚀。
自动化与安全性
- PLC程序控制：预设清洗流程，支持手动/自动模式切换。
- 温度与时间控制：各槽独立温控（±1℃），清洗时间可编程（0-60分钟）。
- 安全保护：防腐蚀材料腔体（如PFA、PTFE），泄漏检测与紧急排液系统。
兼容性与扩展性
- 可定制酸液配方（如BOE、RCA清洗液）与工艺参数，满足特殊清洗需求。
- 可选配UV臭氧去胶模块或等离子体清洗模块，增强有机污染物处理能力。
三、适用场景
- 半导体制造：清洗扩散炉石英舟、CVD石墨舟、光刻机部件等。
- 光伏行业：太阳能电池片承载石英舟的颗粒与金属污染去除。
- 光学玻璃加工：光学镜片模具、石英坩埚的洁净度维护。
- 科研实验：实验室级高精度石英器件清洗。
四、清洗流程示例
- 装载：将待清洗石英舟放入卧式清洗舱，关闭密封门。
- 预清洗：兆声波+DI水初步去除颗粒（5分钟，室温）。
- 主清洗：HF/HNO₃混合液超声清洗（15分钟，40℃）。
- 漂洗：多级DI水冲洗（3槽，每槽5分钟）。
- 干燥：热风干燥（120℃，10分钟）或真空干燥（30分钟）。
- 卸载：取出洁净石英舟，进入洁净存储环境。