中图仪器SuperView 3d光学精密图像测量系统是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的超高精度三维轮廓测量仪。其重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。仪器采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。
产品功能
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
SuperViewW系列轮廓测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。还支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。
测量步骤：
1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；
5.设置好扫描方式和扫描范围；
6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；
7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；
8.根据被测物形状和尺寸，"形状”栏选择“椭圆平面”，X和Y方向按需设置；
9.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
SuperViewW系列轮廓测量仪以白光干涉测量技术为基础，采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。