VT6000激光共聚焦扫描显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在相同物镜放大的条件下,激光共聚焦扫描显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器,共聚焦显微镜却是与白光干涉仪有着诸多不同,如果用一个字眼来形容,那么白光干涉仪是“文”,而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的精准;而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊一筹,但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。
VT6000激光共聚焦扫描显微镜图片