光刻机的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，直线度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是获得XY线性（重复）精度（Linear Positioning）的关键，是后续实现六自由度的控制的基石，是多层曝光对准精度的源头。
SJ6000激光干涉仪检测一台光刻机XY轴的角摆和直线度：
Y轴测量轴长600mm，测得角度Yaw结果0.86″。
X轴测量轴长225mm，其中垂直直线度测得结果0.58μm。
SJ6000光刻机定位双频激光干涉仪可以准确的进行误差测量和补偿。任何机床加工设备，在长时间的使用都会由于自身磨损或者其它一些原因造成加工超差的发生。一般出现这种情况时，就需要使用激光干涉仪进行精度的再校准，SJ6000激光干涉仪可同时测量出机床的螺距误差值和反向间隙（又称背隙），通过精度再校准，加工精度会大大提高。
测量软件
1.友好的人机界面；
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7.内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
激光的高方向性、高相干性和高单色性特点，使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心，SJ6000光刻机定位双频激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。