优可测点光谱位移传感器-厚度测量

位移传感器平面度检测

型号: AP-5015

品牌: Atometrics(优可测)

--- 产品参数 ---

基准距离 15mm
测量范围 1.2mm
直线性 ±0.32μm
分辨率 3nm
光点直径 10μm
最大角度 ±36°
最小可测厚度 42μm

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优可测

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