优可测光谱共焦位移传感器

位移传感器平面度检测

型号: AP-5005

品牌: Atometrics(优可测)

--- 产品参数 ---

基准距离 8mm
测量范围 0.7mm
直线性 ±0.18μm
分辨率 2nm
光点直径 8μm
最大角度 ±48°
最小可测厚度 24μm

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优可测

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