优可测光谱共焦位移传感器-翘曲量检测

位移传感器翘曲度高精度测量

型号: AP-5080

品牌: Atometrics(优可测)

--- 产品参数 ---

基准距离 80mm
测量范围 11.7mm
直线性 ±2.9μm
分辨率 25nm
光点直径 14μm
最大角度 ±18°
最小可测厚度 390μm

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优可测

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