中图仪器SuperViewW系列3d表面微观形貌轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。它是以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；
几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。
SuperViewW系列3d表面微观形貌轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
产品功能
(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例：
SuperViewW系列3d表面微观形貌轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。它特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
部分技术指标
型号 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系统 | 1024×1024 | |
| 干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
| 标准视场 | 0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×） | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移动范围 | 140×100㎜ | |
| 负载 | 10kg | |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 电动 | |
| 台阶测量 | ||
| 可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
| 主机尺寸 | 700×606×920㎜ | |
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