SuperViewW1白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品,尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的准确;而VT6000系列激光共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘,擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊,但成像图色彩斑斓,便于观察。
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