关于MEMS技术的原理和性能分析

金离子注入石英片制备了一种微流控泵，实现激光实时操控宏观流体运动

Bourns正式推出了微机电系统MEMS环境传感器

采用ADXL345实现功能全面的计步器设计

谈论MEMS技术原理及优势

MEMS与IC集成工艺介绍 NEMS器件在IC 中的应用

什么是MEMS传感器？mems传感器的组成和应用分类有哪些？

MEMS是什么？看完这篇就懂了

NIST开发出微机电系统(MEMS)延迟线内存控制器

微/纳机电系统发展特点及前景