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晶圆工艺
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晶圆工艺是一种生产工艺，晶圆工艺是从大的方面来讲，晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤，它又可细分为以下几道主要工序，其中晶棒制造只包括下面的第一道工序，其余的全部属晶片制造，所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序。
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国际上6寸晶圆生产线金属工序一般常用哪些蒸发台，溅射台，合金炉？
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2022-08-15
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