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硅片切割
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硅片切割是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。
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