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[7.5.1]--CVD系统
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[7.4.1]--影响淀积速率的因素
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[7.3.1]--化学气相淀积动力学分析
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[7.2.1]--CVD的基本过程
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[7.1.1]--CVD基本概念与应用
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[6.4.1]--真空蒸发应用及局限性
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[5.8.1]--离子注入应用
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[5.7.1]--快速热退火
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[5.5.1]--离子注入损伤
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[5.4.1]--沟道效应
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[5.3.1]--离子注入分布
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[5.2.1]--离子注入机理
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[5.1.1]--离子注入基本概念
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[4.5.1]--扩散工艺
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06:13
[4.4.1]--二维扩散和扩散的局限性
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