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EUV光刻机
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极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。2018年4月，中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV（极紫外线）光刻机，于2019年初交货。
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氦质谱检漏仪 EUV ***检漏
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