MEMS技术是一种制造技术，MEMS技术把电子和机械特性结合了起来，可以同时执行物理、化学、生物等方面的功能，因为它能同时发生化学反应和电作用。它实质上是终极的片上系统，是科学和技术的终极融合，而且生物也可以与之兼容。 ...展开