晶圆衬底

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晶圆是指硅半导体积体电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;衬底则特指尚未开始进行表面加工的晶圆。有时也特指用于半导体外延生长的基板晶圆。 ...展开
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