进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。

石墨烯NEMS/MEMS传感器结合硅技术将实现新的智能系统，增强人类的福祉、食品安全、交通安全、污染监控以及国土安全。这项研究作为NanoGraM项目的一部分，为工业NEMS/MEMS制造商和参与的中小企业带来了决定

摩尔定律自英特尔创始人戈登·摩尔 1965 年提出至今已经发展了 52 年，其通过不断减小晶体管尺寸驱动集成电路性能持续提升、成本不断下降，从而带动半导体市场持续繁荣。

相比传统的机械传感器与致动器，MEMS 具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等竞争优势，可通过微纳加工工艺进行批量制造、封装、测试，因而 MEMS/NEMS广泛应用于汽车、消费电子、工业、医疗、航空航天、通信等领域。

近期开发的可以在超高（3~30 GHz）和极高（30~300 GHz）频率范围工作的纳米机电（NEMS）谐振器对于开发更先进的半导体电子产品（如宽带频谱处理器和高分辨率谐振传感器）具有极其重要的价值。

碳纳米管由于其良好的电学性能、优异的力学性能，近年来被广泛应用于纳米机电系统（NEMS）的相关研究，在质量、微力、气体、位移等物理量的测量方面也具有广阔的应用前景。特别地，碳纳米管谐振器的机械模式

领导这项研究的Tabrizian表示：“我们的研究践行了半导体传感器和执行器领域的长期追求，即真正集成的NEMS换能器。NEMS换能器有助于利用半导体纳米结构中的高频和高Q值机械谐振动力学特性，在厘米波和毫米波范围实