住友重工离子技术公司，作为住友重工的子公司，计划在2025年向市场推出专为碳化硅（SiC）功率半导体设计的离子注入机。SiC制程虽与硅生产线有诸多相似之处，但由于其高硬度等独特性质，对生产设备提出了特殊要求。

尽管SiC制造过程中的多数设备与常规硅类通用，但因其具备高硬度特性，需要专属设备支持，包括高级别的高温离子注入机、强效的碳膜溅射仪以及大规模的高温退火炉等。其中，能否拥有高温

据了解，到2024年第一季度为止，该公司已陆续向多个特定客户发出了多个离子注入机订单，单季度就完成了八台离子注入机的客户端上线工作，呈现出迅猛增长的发展态势，取得了良好开局。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片

近日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入机市场化进程再上新台阶。