harms是什么意思

基于单晶硅传感器的MEMS惯性传感器工作方式

。但是，制造商First Sensor现在正在使用新的制造技术：HARMS（高宽比微结构）和AIM（气隙绝缘微结构）工艺。前者使微观结构具有高的高宽比，进而具有极低的交叉轴灵敏度。后者通过使用气隙隔离

2020-07-07 09:36:40

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