MOEMS器件按其物理工作原理分为干涉、衍射、透射、反射型（见表1），大多数采用反射型器件。MOEMS在过去几年中已获得显著发展。近几年，由于对高速率通信和数据传输需求的增长，大大激发了对

综合光学检测模块的优化分析，并结合微加工技术条件，研究人员设计了一种具有双端差分检测结构的MOEMS加速度计。其质量块由4个Μ形梁支撑，2个活动光栅对称分布在质量块两边。当施加外部加速度时，连接

微加速度计是一类极为重要的微惯性传感器，广泛应用于振动检测、惯性测量、惯性导航等多个技术行业。随着微纳加工技术的日趋成熟，微加速度计技术得到快速发展，近年来基于微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）的微加速度计技术研究及产品化已成为重点发展方向。

MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)技术被广泛应用于光纤通信系统中，MEMS技术与光学技术的结合，通常称作MOEMS技术。最为常用的MOEMS器件

MEMS技术被广泛应用于光纤通信系统中，MEMS技术与光学技术的结合，通常称作MOEMS技术。最为常用的MOEMS器件包括光衰减器VOA、光开关OS、可调光学滤波器TOF、动态增益均衡器DGE、波长选择开关WSS和矩

MEMS（Micro Electro Mechanical System，微机电系统）技术被广泛应用于光纤通信系统中，MEMS技术与光学技术的结合，通常称作MOEMS技术。最为常用的MOEMS器件