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半导体激光器常见的种类及特点有哪些?

半导体二极管激光器是最实用最重要的一类激光器。它体积小、寿命长,并可采用简单的注入电流的方式来泵浦,其工作电压和电流与集成电路兼容,因而可与之单片集成。

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好的,半导体激光器(Laser Diode, LD)种类繁多,其分类方式多样(如材料、结构、波长、功率、应用等),并且不断有新型器件涌现。以下是一些最常见的分类及其核心特点:

一、按材料结构分类(从简单到复杂)

  1. 同质结半导体激光器:

    • 特点: 最早期的结构。PN结两侧是同一种半导体材料(如GaAs)。
    • 缺点: 载流子限制差,损耗大,阈值电流极高(通常需要脉冲工作,室温连续工作困难),效率低。
    • 现状: 基本已被淘汰。
  2. 单异质结半导体激光器:

    • 特点: PN结一侧是同质材料,另一侧使用宽带隙材料形成异质结(如P-GaAs/N-AlGaAs)。
    • 优点: 相比同质结,异质结对少数载流子有限制作用,降低了阈值电流。
    • 缺点: 阈值仍然较高,性能不够理想。
    • 现状: 主要是历史意义,已被更先进结构取代。
  3. 双异质结半导体激光器:

    • 特点: 核心是有源层两侧均由宽带隙半导体材料夹在中间(如P-AlGaAs/有源层-GaAs/N-AlGaAs)。形成双异质结。
    • 优点:
      • 非常有效地限制载流子(电子和空穴)在有源区内复合发光。
      • 同时对光场有较好的波导限制作用,减少光损耗。
      • 阈值电流显著降低,可以实现室温连续工作
      • 效率高,输出功率较大。
    • 现状: 是现代绝大多数半导体激光器的基础结构
  4. 量子阱激光器:

    • 特点: 双异质结的进一步发展。将有源层厚度减小到纳米量级(远小于载流子德布罗意波长),形成量子阱结构(如GaAs/AlGaAs, InGaAsP/InP)。可单量子阱或多量子阱。
    • 优点:
      • 阈值电流进一步降低(可比DH低一个数量级)。
      • 量子效率高。
      • 发射光谱宽度变窄(更纯的单色光)。
      • 频率啁啾(动态波长漂移)减小。
      • 温度稳定性更好。
      • 调制带宽更大(更适合高速通信)。
    • 现状: 是现代高性能半导体激光器的标准技术
  5. 应变量子阱激光器:

    • 特点: 在量子阱基础上,有源层材料晶格常数与限制层/衬底稍有差异(失配),在纳米薄层内产生可控的张应变或压应变。
    • 优点:
      • 阈值电流可进一步降低
      • 微分增益提高(增益更大)
      • 线宽增强因子减小(频率啁啾更小)
      • 偏振控制更好(有利于实现TE模稳定输出)
      • 允许的材料组合更灵活,能实现特定波长需求(如长波长1.3μm, 1.55μm通信波段)。
    • 现状: 高性能光通信激光器的主要结构。
  6. 量子级联激光器:

    • 特点: 工作原理完全不同于前述基于电子-空穴带间复合的激光器。QCL基于电子在半导体超晶格/多量子阱导带内子能级间级联跃迁释放光子。
    • 优点:
      • 波长由人工设计的量子阱能级差决定,而不是材料禁带宽度。因此可在同一材料体系实现非常宽的中红外到远红外波段(3 μm 至 30+ μm)的激光输出。
      • 输出功率高。
    • 缺点: 需要低温工作(高性能室温QCL已有很大进展),结构复杂,制造难度大。
    • 应用: 气体检测(分子指纹区)、自由空间通信、医疗诊断、太赫兹源等。

二、按谐振腔结构/横向模式分类

  1. 法布里-珀罗激光器:

    • 特点: 最常见的谐振腔结构。利用半导体晶体的自然解理面形成平行反射镜面(法布里-珀罗腔)。
    • 优点: 结构简单,制造容易,成本低,输出功率较高。
    • 缺点:
      • 多纵模输出(光谱较宽),难以实现单频。
      • 温度稳定性较差。
      • 输出光束质量一般(空间模式可能不止一个)。
    • 应用: 低要求的光泵浦源(如泵浦固体激光器)、短距离数据通信、激光指示器、工业加工(大功率)。
  2. 分布反馈激光器:

    • 特点: 在有源层上方或下方集成一个布拉格光栅(周期性波纹结构)。光栅提供分布式的反馈机制。
    • 优点:
      • 单纵模输出(单频),光谱非常窄。
      • 波长稳定性好(温漂小)。
      • 频率啁啾小(更适合高速调制)。
      • 边模抑制比高。
    • 缺点: 结构比FP复杂,成本较高,制造工艺要求高(光栅制作)。
    • 应用: 长距离、高速光纤通信系统的核心光源(1.3μm, 1.55μm)。
  3. 分布布拉格反射器激光器:

    • 特点: 原理与DFB相似,但在谐振腔两端(而非有源区上方)集成布拉格光栅(DBR镜)代替解理面提供反馈和选模。
    • 优点:
      • 单纵模输出(单频)。
      • 波长在较大范围内可通过电流/温度调节其中一个DBR栅的折射率来连续调谐。
    • 缺点: 结构比DFB更复杂。
    • 应用: 需要波长可调谐的场合(如WDM系统中的可调光源)。
  4. 垂直腔面发射激光器:

    • 特点: 谐振腔和激光束方向垂直于芯片表面(输出在晶圆表面)。
    • 优点:
      • 圆形对称性好、发散角小的光束,易于与光纤耦合或光学系统集成。
      • 低阈值电流(微安量级)
      • 单个芯片上可高密度集成二维VCSEL阵列。
      • 易于晶圆级封装和测试,成本潜力高。
      • 调制速度快。
    • 缺点: 传统结构单管输出功率不高(但阵列可弥补),结构复杂制造要求高。
    • 应用: 短距离高速数据通信(光互连)、计算机鼠标、激光打印/扫描、3D传感(人脸识别)、手势识别、照明、医疗等。

三、按输出功率及应用分类

  1. 小功率半导体激光器 (<1 W):

    • 特点: 体积小,效率高,寿命长。
    • 应用: 激光指示笔、CD/DVD/蓝光读写头、光纤通信、条码扫描仪、激光打印头、传感等。大部分F-P, VCSEL, DFB属于此列。
  2. 中高功率半导体激光器 (1 W - 数十 W):

    • 特点: 通常需要特殊设计(如宽条激光器),需要考虑散热。
    • 应用: 光纤激光器/固体激光器泵浦源、材料加工(切割、焊接、表面处理)、医疗、照明、打印、科研。
  3. 高功率半导体激光器巴条/叠阵 (数十W至千瓦级):

    • 特点: 将单个激光器发光点沿水平方向排成一线(巴条),或将多个巴条垂直叠加起来(叠阵)。
    • 优点: 可实现极高的连续或准连续输出功率。
    • 缺点: 光束质量差(BPP高,慢轴发散角大),需要复杂的光束整形系统。
    • 应用: 固体激光器/光纤激光器工业泵浦源(主流)、直接材料加工(硬化、熔覆、钎焊)、科研、国防等。

四、按波长范围分类(部分常用材料体系)

总结对比表

特性/分类 法布里-珀罗 (FP-LD) 分布反馈 (DFB-LD) 分布布拉格反射器 (DBR-LD) 垂直腔面发射 (VCSEL) 量子级联 (QCL) 高功率巴条/叠阵
核心特点 解理面反射腔 光栅反馈,单频 光栅端镜反馈,波长可调 垂直腔,表面出光 量子级联跃迁 多单元集成
光谱/模式 多纵模 单纵模 单纵模 通常单纵模 单纵模/窄谱 宽谱多模
波长稳定性 较差 很好 很好,可调谐 一般
光束质量 一般 较好 较好 圆形对称,发散角小 一般 (BPP高)
阈值电流 中低 极低 中高 (通常低温/特殊结构) 高 (整体)
输出功率(单管) 低 - 高 (覆盖广) 中低 中低 低 - 中 (单管) 中高 极高 (整体功率)
调制速率 很快 非常快
频率啁啾 较大 较小
主要优势 简单, 成本低, 功率高 单频, 高速通信 单频, 波长可调谐 光束好, 低阈值, 易集成 中远红外波段 极高功率输出
主要缺点 多模, 温漂大 复杂, 成本较高 复杂 传统单管功率有限 复杂, 制造难, 常需冷却 光束质量差
典型应用 光泵浦, 指示器, 短距通信 长距离/高速光纤通信 可调谐通信光源 短距通信, 传感, 3D成像 气体传感, 医疗, 太赫兹 激光泵浦, 直接加工

选择哪种半导体激光器取决于具体的应用需求,包括所需波长、功率、光束质量、单色性、调制速度、成本、尺寸和可靠性等因素。

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