mocvd
MOCVD 的中文全称是 金属有机化合物化学气相沉积(英文全称:Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)。
通俗解释:
它是一种在半导体制造中生长超薄晶体材料层的高精度技术,主要用于制备化合物半导体(如氮化镓 GaN、砷化镓 GaAs 等)。工作原理类似“原子级的喷涂”:
- 将含金属的有机气体(如三甲基镓)和非金属气体(如氨气)通入真空反应室;
- 气体在加热的衬底(如蓝宝石或硅片)表面发生化学反应;
- 反应生成的原子逐层沉积,形成单晶薄膜。
核心应用领域:
- 光电子器件
- 制造LED芯片(照明/显示)
- 激光二极管(蓝光DVD/光纤通信)
- 微电子器件
- 高频晶体管(5G通信基站)
- 功率电子器件(电动汽车充电桩)
- 前沿研究
- 量子点显示材料
- 太阳能电池薄膜
技术特点:
| 优势 | 挑战 |
|---|---|
| ✔ 可大面积均匀生长 | ☞ 设备成本高(超百万美元) |
| ✔ 精准控制层厚(纳米级) | ☞ 工艺复杂(需精确调控温度/气流) |
| ✔ 支持多层异质结构 | ☞ 使用易燃有毒气体(需严格安全管控) |
典型案例:你的手机屏幕白光来自GaN基LED,而屏幕显示的蓝色源于InGaN量子阱——这些核心结构几乎都通过MOCVD技术生长。
如果需要更深入解释原理、设备组成或某类具体应用(如Micro-LED生产),欢迎进一步提问!
中微公司受邀出席第十八届全国MOCVD学术会议
近日,第十八届全国MOCVD学术会议于湖北恩施成功落下帷幕。中微公司MOCVD技术团队受邀出席了此次盛会并在《材料生长、表征与装备》技术论坛发表主题演讲,和M
2024-08-16 09:22:40
中微公司Prismo系列MOCVD平台成功实现高晶体质量的GaN薄膜外延
公司集团副总裁 、MOCVD产品部总经理郭世平博士携MOCVD技术团队受邀出席了此次盛会。中微公司MOCVD高级工艺总监胡建正博士在本次大会上作
2023-10-31 09:22:08
中微公司喜迎全球第500台MOCVD设备付运里程碑
上海2022年10月25日 /美通社/ -- 10月25日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称"中微公司",上交所股票代码:688012)宣布其MOCVD设备系列喜迎
2022-10-25 20:58:33
微波功率器件的特性和设计要点详细说明
各方面性能,归纳起来为微波功率产生及放大、控制、接收3个方面。对微波功率器件要求有尽可能大的输出功率和输出效率及功率增益。 进入20世纪90年代后,由于 MOCVD(金属有机化学气相淀积)和MBE(分子束外延)技术的发展,以及化合物材料和异质结工艺的日趋成熟,
资料下载
佚名
2020-10-13 10:43:00
中微公司MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)今日宣布其MOCVD设备迎来又一里程碑:Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔。Prismo
2022-01-18 17:05:38
中微公司发布MOCVD设备Prismo UniMax™
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,股票代码:688012)今日宣布推出专为高性能Mini LED量产而设计的Prismo UniMax MOCVD设备,该设备在帮助LED芯片
2021-06-18 10:38:50
中微半导体推出MOCVD设备,用于深紫外LED量产
昨(30)日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。
2020-07-31 11:34:28
中微2019年成绩亮眼 氮化镓基MOCVD设备市场规模有望进一步扩大
据LEDinsde了解,随着紫外LED和Mini/Micro LED等新兴产业如火如荼地发展,近两年来,国内外相关大企纷纷加购重要的MOCVD设备,很大程度推动了MOCVD设备的发展并刺激了市场需求。
2020-04-18 10:29:11
LED凉凉,MOCVD厂商的出路在何方?
多家半导体设备厂商正在开发或增加新型金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,期望在MOCVD应用的下一波热潮到来前做好充足准备。
2020-03-09 10:38:37
MOCVD技术的技术特点与优势介绍及在光电薄膜中的应用
MOCVD技术在半导体材料和器件及薄膜制备方面取得了巨大的成功。尽管如此,MOCVD仍是一种发展中的半导体超精细加工技术,MOCVD技术的进一步
2019-05-15 08:09:00
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