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三轴陀螺仪在应用中的技术原理是什么?

从MEMS陀螺仪的应用方向来看,陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度,可与MEMS加速度计(加速计)形成优势互补。

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三轴陀螺仪是一种用于测量物体角速度(绕X、Y、Z三个相互垂直轴旋转的速率)的传感器。它在现代科技中应用广泛(如智能手机、无人机、机器人、导航系统等),其核心原理主要基于以下物理学基础:

  1. 核心物理原理:科里奥利效应 (Coriolis Effect)

    • 核心概念: 当一个物体在旋转参考系中进行径向运动时,它会受到一个垂直于运动方向的惯性力,称为科里奥利力。
    • 在陀螺仪中的应用: 现代主流的三轴陀螺仪(尤其是MEMS微机电系统陀螺仪)利用这个效应来检测旋转。它包含一个高速振动(振荡)的质量块(称为“谐振器”或“振动质量”)。
  2. 工作过程(以MEMS陀螺仪为例):

    • 驱动模式: 陀螺仪内部有一个可活动的高频谐振结构(通常是音叉状或梳齿状)。在静电力或压电力驱动下,这个质量块以特定的固定频率和振幅沿着一个轴线(称为驱动轴,例如X轴)进行高频往复振动(直线运动)。这是一种受控的“径向运动”。初始状态时,系统记录振动的位置或振幅基准。
    • 感测模式(角速度检测):
      • 当整个陀螺仪(连同其内部振动的质量块)绕测量轴(例如Z轴)发生旋转(即产生角速度)时,由于陀螺仪外壳和基座参与了旋转,而振动质量块由于惯性试图保持其原有的振动平面不变。
      • 根据科里奥利效应,质量块在旋转参考系中进行的振动(驱动方向运动)会感生一个垂直于驱动方向和旋转方向的力,即科里奥利力。这个力作用于质量块上。
      • 这个科里奥利力会迫使质量块在其原有驱动振动的基础上,沿着垂直于驱动轴和旋转轴的第三个轴(即感测轴,例如Y轴)产生一个微小的、同步的振动位移(运动) 。这个位移的大小与驱动方向的速度以及施加的角速度大小成正比。
    • 信号检测: 通过集成在感测轴方向的电容式传感器(或其他类型的传感器,如压阻式),可以精确地检测到这个由科里奥利力引起的微小位移变化。感测电极测量振动质量块与固定电极之间电容的变化(位移导致间隙变化)。
    • 角速度计算: 传感器将检测到的电容变化(代表感测方向位移)转换为电信号(通常是电压信号)。这个信号的大小与感测方向的位移成正比,而位移又与驱动速度(已知且恒定)和旋转角速度成正比。通过复杂的电路(前置放大器、解调电路、滤波器等)处理这个信号,最终输出一个与绕感测轴角速度成正比的电压信号。
  3. “三轴”的实现:

    • 一个典型的“三轴”陀螺仪芯片内部通常集成了三组独立的感测结构
      • 一组用于检测绕X轴的角速度(设计为驱动轴是Y,感测轴是Z)。
      • 一组用于检测绕Y轴的角速度(驱动轴是Z,感测轴是X)。
      • 一组用于检测绕Z轴的角速度(驱动轴是X,感测轴是Y)。
    • 这三套结构在芯片内正交布置,各自工作,互不干扰,共同实现对三维空间中任意方向旋转角速度的测量。

关键点总结:

重要说明:

应用(得益于以上原理):

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