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科益虹源

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以下是关于 北京科益虹源光电技术有限公司 的详细信息整理(数据截至2024年7月):


公司概况


核心技术与产品

  1. 光刻用准分子激光光源

    • 支撑 国产DUV光刻机研发(如上海微电子SSA600系列),技术路线覆盖 ArF(193nm)、KrF(248nm) 光源。
    • 2020年交付国内首台 40kW ArF 光刻光源(满足28nm制程节点需求),打破荷兰ASML、日本Gigaphoton垄断。
    • 产能:2023年天津基地扩产后,年产能达100台以上。
  2. 集成电路制造关键设备

    • 开发用于 IC检测、退火的高能激光系统,服务中芯国际、长江存储等产线。
  3. 显示面板激光设备

    • OLED 柔性屏 激光剥离(LLO)设备,市占率超70%(京东方、TCL华星为主要客户)。

技术突破与国产化进程


产业链协同

角色 合作方 合作内容
客户 上海微电子 光刻机整机光源配套
中芯国际 晶圆制程激光设备
供应商 福晶科技 激光晶体/光学元件
长春光机所 光学设计协作

行业地位


最新动态(2023-2024)

  1. 科创板IPO进展:2023年完成Pre-IPO轮融资(国家队基金领投),估值超120亿元。
  2. EUV光源研发:启动 LPP-EUV(极紫外)光源 预研项目,获工信部专项支持。
  3. 海外布局:在马来西亚设立技术服务中心,辐射东南亚半导体市场。

如需深入了解特定领域(如技术参数、竞品对比、供应链地图),可提供进一步定向分析。

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