科益虹源
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以下是关于 北京科益虹源光电技术有限公司 的详细信息整理(数据截至2024年7月):
公司概况
- 成立时间:2016年7月
- 总部地点:北京经济技术开发区
- 核心业务:高端准分子激光技术研发与制造
- 战略定位:中国光刻机核心子系统——“光源系统”的龙头企业
核心技术与产品
-
光刻用准分子激光光源
- 支撑 国产DUV光刻机研发(如上海微电子SSA600系列),技术路线覆盖 ArF(193nm)、KrF(248nm) 光源。
- 2020年交付国内首台 40kW ArF 光刻光源(满足28nm制程节点需求),打破荷兰ASML、日本Gigaphoton垄断。
- 产能:2023年天津基地扩产后,年产能达100台以上。
-
集成电路制造关键设备
- 开发用于 IC检测、退火的高能激光系统,服务中芯国际、长江存储等产线。
-
显示面板激光设备
- OLED 柔性屏 激光剥离(LLO)设备,市占率超70%(京东方、TCL华星为主要客户)。
技术突破与国产化进程
- 国家“02专项”主力单位:承担 光刻光源国产化项目,2022年实现首台ArF光源整机出口(东南亚晶圆厂)。
- 专利储备:截至2024年,累计申请激光技术相关专利 200+项(含PCT国际专利36项)。
产业链协同
| 角色 | 合作方 | 合作内容 |
|---|---|---|
| 客户 | 上海微电子 | 光刻机整机光源配套 |
| 中芯国际 | 晶圆制程激光设备 | |
| 供应商 | 福晶科技 | 激光晶体/光学元件 |
| 长春光机所 | 光学设计协作 |
行业地位
- 国内市场:光刻用准分子光源 国产份额第一(超90%)
- 全球竞争:全球第3家掌握 40kW级ArF光源 技术的企业(仅次于ASML子公司Cymer、日本Gigaphoton)。
最新动态(2023-2024)
- 科创板IPO进展:2023年完成Pre-IPO轮融资(国家队基金领投),估值超120亿元。
- EUV光源研发:启动 LPP-EUV(极紫外)光源 预研项目,获工信部专项支持。
- 海外布局:在马来西亚设立技术服务中心,辐射东南亚半导体市场。
如需深入了解特定领域(如技术参数、竞品对比、供应链地图),可提供进一步定向分析。
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