PCB曝光过程中出现吸气不良（即真空吸附不完全）会导致底片与基板贴合不紧密，造成曝光图形模糊、偏移或虚影。以下是常见原因及解决方案：

主要原因与解决措施：

1. 真空系统故障

   • 原因：真空泵功率不足、管路漏气、过滤器堵塞、密封圈老化。
   • 解决：
     • 检查真空泵运行状态，确保抽气速率达标。
     • 用酒精喷涂管路接口检测漏气点（气泡产生处），更换破损管路。
     • 清洁或更换堵塞的过滤器。
     • 更换压合框（Frame）的硅胶密封条。

2. 台面/底片不平整

   • 原因：曝光台有残胶或凹痕；底片翘曲、折痕；基板弯曲。
   • 解决：
     • 清洁曝光台玻璃，用无尘布蘸酒精擦拭。
     • 更换翘曲底片（存放时需平放防变形）。
     • 确保基板平整（层压后充分冷却）。

3. 气压分配不均

   • 原因：吸气孔堵塞、气压分布设计缺陷。
   • 解决：
     • 用针头清理吸气孔内粉尘。
     • 检查真空腔室分区是否漏气，调整气压平衡。

4. 操作问题

   • 原因：放置基板后抽真空延迟过长（底片移位）；压合框未锁紧。
   • 解决：
     • 放置基板后立即启动真空吸附。
     • 确认压合框所有锁扣受力均匀。

5. 环境干扰

   • 原因：温湿度波动导致底片/基板尺寸变化（贴合时应力不均）。
   • 解决：
     • 控制曝光房温湿度（22±2℃，50±5% RH）。

快速排查流程：

1. 听声音：开机后贴近设备，若有持续嘶嘶声→存在漏气点。
2. 测真空度：用真空表检测吸附压力（正常值：≥ -80kPa）。
3. 分段测试：
   • 单独测试真空泵→判断泵体是否正常。
   • 空载（不放基板）抽真空→检查台面密封性。
4. 观察吸附痕迹：曝光后取下基板，观察未曝光区域是否有牛顿环（同心圆纹）→吸附不紧密的典型表现。

预防性维护：

• 每日：清洁台面、检查密封条完整性。
• 每周：清理真空过滤器，校准压力表。
• 每月：检测真空泵油位，更换老化管路。

通过系统排查，多数吸气不良问题可迅速解决。若仍无法排除，需检查设备控制阀或联系设备厂商检测电磁阀/气路控制系统。