并购，例如在2013年以20亿欧元的价格购买了光刻光源供应商Cymer，从而推动了该集团的EUV技术的发展，并通过股息和回购的方式回报了股东。 由于受到2018/19年度半导体业低迷的影响，ASML

为例，为了解决光源制造问题，收购了全球领先的准分子激光器供应商Cymer。这里所谓的合格是指，在适当的成本下，实现特定功率的窄带EUV输出。 其次，需要设计专门的透镜保证通过不断反射聚集光源，以

架构的核心企业，自然成了欧美自家的小棉袄，顺利赶上了欧美EUV技术研究发展的风口，投资德国卡尔蔡司，收购美国Cymer光源。集成世界各国顶尖科技的EUV***研发成功，一举奠定了阿斯麦在高端EUV

进行研发生产。 直至今天，ASML仍保留有部分“Out House”模式的传统，比如，其使用的光刻机核心组件，由蔡司、Cymer等多家厂商供应。 与ASML相同，上海微电子的193nm光波长

。ASML生产的EUV***的光源是美国cymer提供的，镜头采用的是德国蔡司镜头。而且目前国产***产业链很弱小，比如，冲刺科创板的“***第一股”华卓精科”，主要

%。 逃不过美国的紧箍咒限制 2012 年 ASML 收购 EUV 光源提供商 Cymer，此前 Cymer 就和 ASML 合作已久；2016 年 ASML 公司取得光学镜片龙头

“调教”好的合作对象。加入EUV联盟，给阿斯麦带来了很多好处，比如在2009年的时候，美国一家叫做Cymer的公司，研发出了EUV技术所需要的光源，这家公司就顺势成为了阿斯麦的供应商

％。 逃不过美国的紧箍咒限制 2012年ASML收购EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和ASML合作已久；2016年ASML公司取得光学镜片龙头德国蔡司24．9％的股份，以加快推进

SVGL(硅谷光刻集团)和美国准分子激光源企业Cymer，打通了极紫外***的生产产业链。美国本来也以国家安全为由百般阻挠阿斯麦收购，但由于阿斯麦有加入EUV LLC的先例，并且答应了一大堆附加条件