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半导体制造工艺基础

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最全最详尽的半导体制造技术资料,涵盖晶圆工艺到后端封测

。 第1章 半导体产业介绍 第2章 半导体材料特性 第3章 器件技术 第4章 硅和硅片制备 第5章 半导体制造中的化学品 第6章 硅片

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