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石英管

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石英管是以天然或合成二氧化硅(SiO₂) 为主要成分熔制而成的非晶态玻璃管。其主要特性和用途如下:


核心特性

  1. 耐高温性
    • 软化点约 1630°C,长期工作温度 1100~1300°C(具体因纯度而异)。
  2. 热稳定性
    • 可承受急剧温变(如:1100°C → 室温水冷不破裂)。
  3. 高纯度 & 化学惰性
    • 除氢氟酸(HF)和热磷酸外,耐强酸/强碱/金属熔体腐蚀
  4. 光学性能
    • 紫外-红外透光率高(波长范围 180nm~3500nm),用于光学器件。
  5. 电绝缘性
    • 电阻率 >10¹⁶ Ω·cm(20°C时)。

主要应用领域

领域 具体用途
半导体 晶圆制造炉管、扩散管、CVD反应腔体
光伏 多晶硅铸锭炉、单晶生长炉
照明 卤素灯管、紫外线杀菌灯、汞灯管
化工/实验 耐腐蚀反应管、高温气体导管、酸洗容器
光学 光谱仪窗口、激光器套管、紫外光学系统
高温设备 热电偶保护管、高温视窗、热工仪表

注意事项


选购参数参考

参数 典型值范围
二氧化硅纯度 >99.9%(半导体级: >99.999%)
尺寸精度 ±0.1mm(精密管可达±0.02mm)
热膨胀系数 5.5×10⁻⁷/°C(20°C时)
密度 2.2 g/cm³

提示:深紫外线应用(<200nm)需选用合成石英管(羟基含量<5ppm),天然石英因杂质会吸收短波紫外线。

石英管因其极端环境适应性成为高端制造的核心材料,选型时需明确温度、化学介质及光学需求。

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