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CMOS工艺流程的详细资料讲解

消耗积分:5 | 格式:pdf | 大小:4.63 MB | 2020-06-01

ah此生不换

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　　CMOS 工艺流程介绍

　　1.衬底选择：选择合适的衬底，或者外延片，本流程是带外延的衬底；

　　2. 开始：Pad oxide 氧化，如果直接淀积氮化硅，氮化硅对衬底应力过大，容易出问题；

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