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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析
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2021-03-20
姚小熊27
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为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能，设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器，并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论，并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中，使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。结果表明，在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入（压力）2输出（电容）特性的影响是线性的，且线性范围内初始压力随温度的升高而降低。
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