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半导体IC的清洗方法
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2021-04-09
姚小熊27
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介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法， 并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。
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