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单片式电容传感器的动态测厚技术
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2017-10-15
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图 2 单片式电容传感器平面结构图为了满足传感器具有较大的初始电容和较高的灵敏度 ，又要保证传感器单方向尺寸不能过大 ，综合几方面因素 ，将单片式电容传感器设计成镖盘状结构。单片式电容传感器的结构如图 2所示。图中相连的三个弧状金属板构成电容的一个极板 ，另外相连的三个弧状金属板构成电容的另一个极板。两个极板在同一个平面内 ，平面的上方构成了工作区间、这种单片式电容传感器利用了电容的边缘效应进行工作。当被测薄膜贴近传感器表面时 ，则改变了工作区间的介电常数 ，从而改变了电容量 ，就能够检测出被测薄膜的厚度值。实际应用中传感器的各极板应该用厚度为011mm的钛板制造 ，并且粘附在一块温度系数很小的非金属材料上 ，在非金属材料的另一个表面上附上一层同样厚度的钛 ，形成一个保护极板。此极板接地 ，以抵抗外部电磁干扰 ，这就是三极板单片式电容传感器。它是对于双平行
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