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自旋阀结构薄膜及其自由层的特性研究

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:455 | 2009-12-14

吴藩

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自旋阀结构薄膜及其自由层的特性研究
刘 鹏
（清华大学微电子学研究所，北京，100084）
摘 要：基于自旋阀结构的磁传感器因其优良的性能，在传感器家族中具有越来越重要的地位。在自旋阀磁传感器的研制过程中，自旋阀薄膜的制备与性能优化是其中最为重要的一个环节。具有优良特性的自旋阀薄膜是制造高性能自旋阀磁传感器的重要基础。本文介绍了自旋阀薄膜的特点和性能参数，介绍了自由层对自旋阀性能的影响，并介绍了如何通过改进自由层结构对自旋阀薄膜的性能进行优化。
关键词：自旋阀 自由层 磁电阻率 矫顽力
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