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宽温度范围SAW应变传感器温度与应变解耦研究
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2018-02-09
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针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题，提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器。理论上，结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度的关系公式，进而推导出应变与温度关于这两组谐振器频率变化的表达式。实验上，搭建宽温度范围的实验平台，在Y+340切向的石英基片上制作该传感器芯片，测得传感器芯片在30℃～180℃下的频率响应，将测得的谐振器频率代入表达式计算得到温度与应变值，与实验中参考温度与应变的值基本吻合。
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