封装式压电陶瓷促动器应用领域

封装式压电陶瓷促动器内部集成高可靠性压电陶瓷，可实现纳米级分辨率，位移行程可达260微米，微秒级响应时间，外部由柱形不锈钢外壳保护。

较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。出力达50000N，使其非常适于腔调谐、主动振动、减震抑震或自适应力学。同时，小体积、高谐振频率等特点又使其非常适于扫描显微、光束偏转、精密加工或显微光刻等应用。

封装式压电陶瓷促动器

· 位移可达260微米

· 出力可达50000N

· 纳米级分辨率

· 多种转接及固定方式可选

· 多种尺寸及参数可选

· 可定制

应用领域

超导腔调谐

通过谐振器在轴向拉伸超导腔，改变加速间隙的大小，控制超导腔的频率。通过机械调谐进行频率的粗调后，当超导腔的频率接近所需要的频率时，通过压电陶瓷促动器对频率进行微调。利用的是压电陶瓷促动器的大出力、微位移的特性。

微细电火花加工

采用微细电火花加工微小孔过程中会产生很多碎屑，这会严重影响电火花加工的精准度及加工速度。设备中采用压电促动器，利用其微纳米级位移，高频振动，大出力等特性将加工产生的碎屑进行有效的清除，起到优异的导屑作用。

减震抑震

震动是很多机械系统中需要避免或消除的，如航空航天、汽车行业等。在震动监测系统中监测到震动时，通过给压电促

动器施加电信号，使压电促动器随之产生与震动方向相反的位移，从而抵消震动。lw