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曝光基础知识讲解
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2022-11-17
Zoom1016
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曝光是使感光型抗蚀剂或者感光材料在一定光照条件下感光。曝光后形成 潜影，经显影、处理后即呈现可见的影像。 在集成电路领域中，曝光就是用特定波长范围(320nm~430nm)的光线，让 干膜抗蚀剂中的一些成分发生化学反应使其交联硬化，从而把底片或程序中的 图像转移到干膜上。(因为可见光的光谱是连续的,其中包含能使干膜发生反应 的波段,故曝光区需要使用黄光保护）
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