中科米微：瞄准光学MEMS赛道，跑出核心竞争力

只有几毫米的“袖珍”MEMS微镜芯片，却可以成为光器件/模块的“中枢”，实现光通信系统的调谐、控制、光路由、监控、保护等多种功能。

从实验室到车间，从生产车间到产品产业化，自2019年落户安徽蚌埠以来，安徽中科米微电子技术有限公司凭借着雄厚实力，完成了从业界“追赶者”到“领跑者”的华丽转身，成为光通信MEMS芯片全球第三、国内唯一的供应商。

安徽蚌埠近年来持续优化营商环境，着力优化科技创新布局，让企业成为创新、创业的重要主体，打造科技创新标杆，提升科技创新能级，创新平台建设取得新突破，科技企业培育迈上新台阶，科技创新氛围呈现新气象，不断增强经济驱动力，推动经济社会高质量发展。

走进位于蚌埠禹会区科创产业园的安徽中科米微电子技术有限公司测试车间，工作人员正在对产品性能进行测试。安徽中科米微电子技术有限公司是一家专业从事光学MEMS芯片（例如MEMS微镜）研发和生产的企业，也是国内首家专注光通信MEMS芯片的高科技公司。“很长一段时间内，光通信设备中的光学MEMS芯片核心技术和市场都是被国外垄断的，为其冠上‘国字号’，关键在于我们掌握了核心技术。”安徽中科米微电子技术有限公司总经理吴凯文说。

中科米微的技术源自中国科学院上海微系统与信息技术研究所旗下的传感技术联合国家重点实验室和上海微技术工业研究院。在此之前，光学MEMS芯片国产化率较低，导致技术工艺等方面不稳定，针对这一问题，公司技术团队联合中国兵器工业第二一四研究所，在光通信MEMS芯片的产业化方面一路攻坚克难，成功解决了关键核心技术问题。在关键工艺方面，突破了关键技术环节，开发了适合量产、高效的光学MEMS芯片晶圆级测试、光学MEMS芯片检测技术和后道处理技术，特别是在MEMS微镜芯片产品方面完全实现了自主设计和国内制造，填补了国内空白，打通了光通信MEMS芯片产业链。

“选择蚌埠市禹会区，也是看中了这里的环境和政策，不仅物流便捷，政府还在房租、人才引育等方面给予了优惠政策，让企业可以安心研发、生产，免去了后顾之忧。”吴凯文说，目前，公司和国内外上下游的光通信器件、系统、应用等几十家公司展开合作，服务于高意、光迅、昂纳、光联和博创等主要客户。2022年公司收入达5500万元，目前已申请专利30余项，其中14项获得授权。目前公司拥有研发人员20余人，其中博士4名，初步形成了一支研发、工艺、管理、工程、实验分析各专业齐全，高、中、初专业技术职务层次合理的技术队伍。

成功打破国外垄断，解决了光通信MEMS芯片研发和量产的相关“卡脖子”技术，为MEMS芯片国产化贡献力量后，安徽中科米微电子技术有限公司又瞄准了新的“赛道”，将逐步从光通信领域向车载激光雷达领域拓展。“今年内有望在新领域实现突破，预估两年内实现年收入过亿，真正做到世界领先。”吴凯文说。

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