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MEMS技术
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MEMS技术是一种制造技术,MEMS技术把电子和机械特性结合了起来,可以同时执行物理、化学、生物等方面的功能,因为它能同时发生化学反应和电作用。它实质上是终极的片上系统,是科学和技术的终极融合,而且生物也可以与之兼容。
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