俄罗斯开发出可替代***的芯片制造设备

　　俄罗斯圣彼得堡理工大学（spbpu）的研究人员利用蚀刻开发出国产光刻复合设备，用于生产无掩模芯片，这对实现俄罗斯微电子的自给自足非常重要。一种设备的价格为500万卢布（约4.95万美元），但其他设备的价格尚不清楚。

　　这个复合体由两种设施组成。第一个装置是为“无掩模纳米光刻”设计的，可以在没有口罩的情况下将图像投射到基板上。第二种设备位于第一种设备制造的基板图案上，利用蚀刻形成纳米结构。另外，还可以制造用于船舶和压力传感器等的硅胶片。这些胶片被认为比其他方法制成的胶片更可靠，更敏感。

　　目前俄罗斯的半导体生产局限在65纳米工程技术上。与此同时，全球标准缩小为3nm工艺。需求诺夫哥罗德应用物理研究所（iap ras）的目标是，到2028年为止，开发出能够生产7纳米芯片的照相技术。为了推动这一势头，俄罗斯工贸部投资11亿卢布开发微电子专用光刻材料。

　　除了制造芯片和硅膜外，这两种设备还能给其他行业带来不少收益。例如，这些装备可以使雷达设备的使用寿命延长20倍以上。在绿色能源领域，这些装置使太阳能电池板变得更轻、更高效和更小。

　　开发者对自己的发明抱有很大的希望。他们正在考虑将人工智能融合到这两个装置中来提高他们的能力。但俄罗斯半导体制造企业是否对该设备感兴趣尚不清楚，设备何时投入实际生产尚未确定。