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低噪声高灵敏度CMOS APS图像传感器的研究
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2009-05-09
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介绍了用标准的1.5 pun P阶COMS数字电路工艺加工的512像素CMOS APS图像传感器线阵。采取了3种技术，改进了芯片性能:①为提高灵敏度采用了带防反射膜的混合的P勺N
和P阱/N光电二级管结构;②为减小光电二级管的暗电流采用了P阶隔离环结构;③为抑制固定图形噪声和低频噪声应用了相关双采样电路。这些技术的采用，使研制的图像传感器灵敏度达到11 V/lx " s，均方根噪声为0.2 mV，动态范围为80 dB
和P阱/N光电二级管结构;②为减小光电二级管的暗电流采用了P阶隔离环结构;③为抑制固定图形噪声和低频噪声应用了相关双采样电路。这些技术的采用，使研制的图像传感器灵敏度达到11 V/lx " s，均方根噪声为0.2 mV，动态范围为80 dB
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